關於潔淨室

about cleanroom

什麼是潔淨室?

潔淨室,又稱無塵室,是指一個具有低污染水準的環境,排除空間內的微塵粒子、有害空氣、細菌等污染物,並控制溫度、濕度、潔淨度、氣流速度、室內壓力、噪音、振動與靜電…等在某一需求範圍內,進而得到一個潔淨的作業環境,同時該空間可維持衡定的溫度、壓力、 濕度,並能防治靜電,同時抑制震動及電磁波至一定程度。

潔淨室須具備能夠有效控制特定空間內微粒汙染數量之能力,以有效避免產品製造過程中,空氣中的微粒附著,而造成品質降低,影響原始設計功能等情形,主要應用在對環境污染特別敏感的行業,例如:製藥、生物技術、食品、半導體產業等。

去除空氣中微塵粒子

防止微塵粒子之產生

溫度與濕度之控制

室內壓力之調節

排除有害氣體

結構物與隔間之氣密性

防止靜電產生

預防電磁波干擾

安全因素之考量

節能考量

無塵室污染源

為了有效地維持潔淨室的潔淨度,除了規劃和配置硬體設備外,良好的管理制度也是必不可少的,管理污染源最為重要。

污染源通常可分為「外部污染」和「內部污染」兩大類。這些污染源可以包括作業人員、原料、設備以及潔淨室內的所有物品。

根據實驗數據顯示,作業人員是潔淨室最主要的污染源,約佔到總污染量的80%。當作業人員進入或離開無塵室時,空氣中的塵埃顯著增加,且一旦作業人員進行動作,潔淨室的潔淨度立即下降。因此,作業人員必須配戴無塵衣、帽、口罩和手套等防護用具,以減少污染源對潔淨室的影響。

潔淨度

潔淨室的主要功能是有效控制特定空間內的微粒數量。為了定義各種潔淨室的性能,我們使用了「特定容積」內特定大小的微粒數量作為標準。這種分類指標被稱為「潔淨度」(Cleanness)。

微粒分佈狀況空間/無塵室規格
10,000,000 – 50,000,000顆/m3郊外
100,000,000 – 500,000,000顆/m3城市
100,000,000 – 1,000,000,000顆/m3室內
粒徑0.5μm微粒,控制在3,520顆/m3以內無塵室-ISO Class 5
粒徑0.5μm微粒,控制在3,530顆/m3以內無塵室-FS 209E Class 100

無塵室產業區分

無塵室的應用主要分為兩大類:ICR工業用無塵室(Industrial Clean Room)和BCR生化及醫學用無塵室(Biological Clean Room)。根據不同的產業類別,對潔淨度的要求也有所不同。

BCR生化及醫學用無塵室

通常在生物技術、製藥和醫療設備等領域中,除了要求去除空氣中懸浮的微粒,還需要清除塵埃表面的細菌和病毒。因此,除了空氣過濾系統外,通常還需要配備化學滅菌設備,例如紫外線滅菌等方法。

ICR工業用無塵室

主要使用於半導體、電子業及各型精密工業