關於潔淨室
about cleanroom
什麼是潔淨室?
潔淨室,又稱無塵室,是指一個具有低污染水準的環境,排除空間內的微塵粒子、有害空氣、細菌等污染物,並控制溫度、濕度、潔淨度、氣流速度、室內壓力、噪音、振動與靜電…等在某一需求範圍內,進而得到一個潔淨的作業環境,同時該空間可維持衡定的溫度、壓力、 濕度,並能防治靜電,同時抑制震動及電磁波至一定程度。
潔淨室須具備能夠有效控制特定空間內微粒汙染數量之能力,以有效避免產品製造過程中,空氣中的微粒附著,而造成品質降低,影響原始設計功能等情形,主要應用在對環境污染特別敏感的行業,例如:製藥、生物技術、食品、半導體產業等。
去除空氣中微塵粒子
防止微塵粒子之產生
溫度與濕度之控制
室內壓力之調節
排除有害氣體
結構物與隔間之氣密性
防止靜電產生
預防電磁波干擾
安全因素之考量
節能考量
潔淨度
潔淨室的主要功能是有效控制特定空間內的微粒數量。為了定義各種潔淨室的性能,我們使用了「特定容積」內特定大小的微粒數量作為標準。這種分類指標被稱為「潔淨度」(Cleanness)。
微粒分佈狀況 | 空間/無塵室規格 |
---|---|
10,000,000 – 50,000,000顆/m3 | 郊外 |
100,000,000 – 500,000,000顆/m3 | 城市 |
100,000,000 – 1,000,000,000顆/m3 | 室內 |
粒徑0.5μm微粒,控制在3,520顆/m3以內 | 無塵室-ISO Class 5 |
粒徑0.5μm微粒,控制在3,530顆/m3以內 | 無塵室-FS 209E Class 100 |
無塵室產業區分
無塵室的應用主要分為兩大類:ICR工業用無塵室(Industrial Clean Room)和BCR生化及醫學用無塵室(Biological Clean Room)。根據不同的產業類別,對潔淨度的要求也有所不同。
BCR生化及醫學用無塵室
通常在生物技術、製藥和醫療設備等領域中,除了要求去除空氣中懸浮的微粒,還需要清除塵埃表面的細菌和病毒。因此,除了空氣過濾系統外,通常還需要配備化學滅菌設備,例如紫外線滅菌等方法。
ICR工業用無塵室
主要使用於半導體、電子業及各型精密工業